Các thuật ngữ trong kỹ thuật phòng sạch
Air Lock – (Phòng ngăn không khí) là phòng đặt giữa phòng sạch và khu vực bên ngoài và nó có tác dụng là phòng đệm hay phòng trung chuyển khi vận chuyển vật liệu vào hay ra khỏi khu vực phòng sạch. Air flow rate – (Lưu lượng dòng khí) là thể tích dòng khí trong…
