에어 록 -(공기 실)은 클린 룸과 외부 영역 사이에 위치한 공간으로, 클린 룸 영역 안팎으로 자재를 운반 할 때 완 충실 또는 이송 실 역할을합니다.
풍량 -(풍량)은 단위 시간당 풍량입니다.
에어 샤워 -(에어 욕실)은 압축 공기 노즐이 배치되어 클린 룸 구역에 들어가기 전 직원을 청소하는 작은 방입니다.
공기 중 미립자 청정도 등급 번호 -(공기 중 입자 수 중 청정도 수)는 크린룸의 공기량 중 0.5 미크론 이상의 입자 수를 나타냅니다. 레벨 수가 적을수록 실내 공기가 더 깨끗해집니다.
천장 그리드 시스템 -(천장 프레임 시스템)은 클린 룸을 위해 조명 및 공기 정화 시스템이 설치된 건물 구조입니다.
클린 룸 파티션 -(클린 룸의 패널)은 클린 룸이 서로 다른 클린 요구 사항을 충족하는 많은 클린 영역으로 들어가는 것을 방지하기 위해 사용되는 벽입니다.
청정실 통과 Thrus -(클린 룸을 통과하는 방)은 공기를 차단하지만, 클린 룸 대기 오염 요소의 침입을 최소화하기 위해 직원이 들어오지 않고 클린 룸 영역으로 들어 오거나 나가는 제품 및 자재의 통로 역할을하는 공간입니다.
클린 룸 슈트 -(깨끗한 옷)은 종종 "토끼 복"으로 불리며 평상복 위에 입습니다. 이 의류는 정전기 방지 섬유가있는 부직포로 만들어졌습니다.
클린 룸 테이블 -(클린 룸 책상)은 천공 또는 단단한 상단이있는 책상으로, 클린 룸의 요구 사항을 충족합니다.
클린 존: 공기 중 입자의 농도가 허용치 이하가되도록 제어하는 구분 된 공간.
오염 -(오염) 환경에 존재하면 매체의 순도를 손상시킬 수있는 유해하거나 바람직하지 않은 물질.
정전기 방전 (ESD) -(정전기 방전) 전압의 제어되지 않은 방전으로 "감전"이라고도하며 반도체 제품을 쉽게 파괴합니다.
장비 레이아웃 -(장비 배치 계획)은 기능을 명확히하고 운영을 조정하는 데 필요한 클린 룸 및 기타 기능 영역의 요약입니다.
연방 표준 209E -청정실 공기 청정도 기준에 대한 설명입니다.
필터 모듈 -(필터)는 HEPA 또는 ULPA 필터를 장착하여 클린 룸의 천정이나 벽에 설치하는 장치입니다.
HEPA (고효율 미립자 공기) 필터 -(고성능 공기 먼지 필터)는 최소 0.3 미크론 크기의 먼지 입자가 99.97% 이상인 공기를 필터링하는 기능입니다.
ULPA (초저 미립자 공기) 필터 -(공기 중 미세 먼지 필터)는 0.12 미크론까지 99,9999% 입자를 담을 수있는 공기 필터입니다.
HVAC (난방, 환기 및 공조) 시스템 -(난방, 환기 및 공조 시스템)은 건물 또는 제조 시설에서 냉난방, 공조의 공급 및 유지를위한 장비입니다.
층류 -(레이어 블로잉)은 일정한 바람의 방향과 속도로 정의 된 공간 제한이있는 영역에서 바람을 뿜는 것입니다.
미생물 -(미생물)은 미세한 유기체이며 종종 질병을 옮깁니다. 그들은 일반적으로 피부 세포가 벗겨지는 동안 인간의 피부에서 방출됩니다.
입자 크기 -(입자 크기)는 입자의 치수를 나타냅니다.
입자 -(서브 섹션)은 0.001 ~ 1,000 마이크론 크기의 고체 또는 액체가 될 수있는 물체입니다.
미립자 -(입자)는 여러 개의 개별 하위 입자로 구성된 개체입니다.
프리 필터 -(사전 필터, 사전 필터)는 기본 필터를 계속 사용하는 데 사용되는 추가 필터입니다. 큰 입자를 걸러 내고 과도한 오염으로부터 메인 필터를 보호합니다.
샘플 획득 시간 -(샘플 수신 시간) 입자 계수기가 자동으로 0을 반환하고 다시 계수를 계속하기 전에 계수 데이터를 축적 한 시간입니다.
실란트 -(개스킷, 실란트)는 일반적으로 HEPA 필터를 천장 프레임에 부착하는 데 사용되는 플라스틱 또는 실리콘으로 구성된 물질입니다.
끈적 끈적한 매트 -(접착 성 유연한 소재)는 클린 룸 및 욕실 입구에 배치되는 도어 매트입니다. 이 러그는 점착 필름을 사용하여 직원의 신발을 청소합니다.
테스트 / 인증 서비스 -(검사 및 인증 서비스)는 HEPA 필터, HVAC 시스템 및 기타 장비를 포함한 클린 룸 구성 요소의 검사 및 유지 관리입니다. HEPA 필터 테스트에는 미립자 조사 및 계수, 에어컨 측정, 기류 진동 및 안정성 측정이 포함됩니다.
난류 -(난류)는 특정 공간에서 같은 방향으로 흐르지 않는 공기의 흐름입니다.
유틸리티 매트릭스 -(장비의 활용 및 사용 표)는 개발 분석을 요약 한 "공정 및 장비 운영 표", "도구 표", "개발 요구 사항 표"라고도합니다. 각 장치를 사용하여 클린 룸 건설을 계획합니다.
단방향 기류 클린 룸 / 층류 기류 클린 룸 -(단방향 기류 / 다층 가스 유동이있는 클린 룸)은 여과 된 공기가 한 방향으로 작업 영역으로 실내로 들어가 기류의 난류를 최소화하는 클린 룸입니다. 단방향 기류가있는 클린 룸은 종종 HEPA 또는 ULPA 필터를 사용하여 천장 (수직 기류) 또는 벽 (수평 기류)에서 80% 이상을 덮습니다.
