BS EN ISO 14644 Reinraum

BS EN ISO 14644 Reinraum - Reinraumnorm

BS EN ISO 14644-8 umfasst die Klassifizierung der luftgetragenen molekularen Kontamination (AMC) in Reinräumen und damit verbundenen kontrollierten Umgebungen in Bezug auf die luftgetragenen Konzentrationen bestimmter chemischer Substanzen (Klassifizierung, Gruppe oder Kategorie). Es bietet ein Protokoll, um Testmethoden, Analysen und zeitgewichtete Faktoren in die Spezifikation für die Klassifizierung aufzunehmen.

Innerhalb dieses Teils von ISO 14644 wird das Vorhandensein von Molekülen in der Luft als molekulare Kontamination in der Luft (AMC) ausgedrückt. Die molekulare Kontamination ist ein dreistufiges Ereignis. Der erste Schritt ist die Erzeugung aufgrund externer Quellen, Prozessleckagen oder Konstruktionen oder Ausgasung von menschlichem Material. Der zweite Schritt ist der Transport als AMC in der Luft. Der dritte Schritt ist die Sorption an der empfindlichen Oberfläche, die als oberflächenmolekulare Kontamination (SMC) quantifiziert werden kann.

Das Erzeugen Materialien und die Oberflächen, auf denen die Sorption stattfindet, haben zusätzlich zur tatsächlichen AMC einen großen Einfluss auf die Schritte der Erzeugung und Sorption. Daher müssen für diese beiden Schritte nicht nur die AMC, sondern auch die beteiligten Mengen und Oberflächen definiert werden. Um eine Norm allgemein für jede Art von Reinraum oder damit verbundene kontrollierte Umgebung anwendbar zu machen, wurde AMC in Luft für die Klassifizierung ausgewählt.

In diesem Teil der BS EN ISO 14644 werden derzeit nur AMC-Konzentrationen zwischen 100 und 10-12 g / m3 unter Reinraumbetriebsbedingungen berücksichtigt. Es ist nicht relevant für die Anwendung in Branchen, Prozessen oder der Produktion, in denen das Vorhandensein von molekularen Substanzen in der Luft kein Risiko für das Produkt oder den Prozess darstellt.

Es ist nicht die Absicht dieses Teils von ISO 14644, die Natur von in der Luft befindlichen molekularen Verunreinigungen zu beschreiben. Es gibt keine Klassifizierung der molekularen Oberflächenkontamination.

BS EN ISO 14698-8 weist ISO-Klassifizierungsstufen zu, anhand derer die Grenzwerte für AMC-Konzentrationen in einem Reinraum und einer zugehörigen kontrollierten Umgebung festgelegt werden, in denen das Produkt oder der Prozess durch eine solche Kontamination gefährdet ist.

Zu Klassifizierungszwecken ist dieser Standard auf einen bestimmten Bereich von AMC-Konzentrationen beschränkt und enthält Standardprotokolle zur Spezifizierung solcher Konzentrationen in Bezug auf chemische Verbindungen, Test- und Analysemethoden und zeitgewichtete Faktoren.

Informative Anhänge sind in BS EN 14644-8 enthalten und umfassen:

• zu berücksichtigende Parameter: Anhang A.
• typische kontaminierende Chemikalien und Substanzen: Anhang B.
• typische Mess- und Analysemethoden: Anhang C.
• Überlegungen zu spezifischen Anforderungen für die getrennte Berücksichtigung von Anlagen: Anhang D.

BS EN ISO 14644-8 gehört zu einer Reihe von Normen, die sich mit Reinräumen und Kontaminationskontrolle befassen. Neben AMC müssen bei der Planung, Spezifikation, dem Betrieb und der Kontrolle von Reinräumen und anderen kontrollierten Umgebungen viele Faktoren berücksichtigt werden. Diese werden in anderen Normen ausführlich behandelt. Insbesondere wird auf BS EN ISO 14698 (alle Teile) hingewiesen.